Is iad gáis ard-íonachta (UHP) croílár thionscal na leathsheoltóirí. De réir mar a chuireann éileamh gan fasach agus cur isteach ar shlabhraí soláthair domhanda brú ard ar phraghas an gháis ard-bhrú, tá cleachtais nua dearaidh agus déantúsaíochta leathsheoltóirí ag méadú an leibhéal rialaithe truaillithe atá ag teastáil. I gcás monaróirí leathsheoltóirí, tá sé níos tábhachtaí ná riamh a bheith in ann íonacht gháis UHP a chinntiú.

Tá Gáis Ard-Íonachta (UHP) ríthábhachtach i ndéantúsaíocht leathsheoltóra nua-aimseartha

Ceann de na príomhfheidhmeanna atá ag gás UHP ná inertiú: úsáidtear gás UHP chun atmaisféar cosanta a sholáthar timpeall ar chomhpháirteanna leathsheoltóra, rud a chosnaíonn iad ó éifeachtaí díobhálacha taise, ocsaigine agus truailleáin eile san atmaisféar. Mar sin féin, níl san inertiú ach ceann amháin de na feidhmeanna éagsúla a dhéanann gáis sa tionscal leathsheoltóra. Ó gháis plasma phríomhúla go gáis imoibríocha a úsáidtear in eitseáil agus in annéalú, úsáidtear gáis ultra-ardbhrú chun go leor críocha éagsúla agus tá siad riachtanach ar fud an tslabhra soláthair leathsheoltóra.

I measc cuid de na gáis “lárnacha” sa tionscal leathsheoltóra tánítrigin(a úsáidtear mar ghlantachán ginearálta agus mar ghás támh),argón(a úsáidtear mar an bpríomhghás plasma in imoibrithe greanta agus taiscthe),héiliam(a úsáidtear mar ghás támh le hairíonna speisialta aistrithe teasa) agushidrigin(imríonn sé róil iomadúla in annéalú, taisceadh, eipitacsas agus glanadh plasma).

De réir mar a d’fhorbair agus a d’athraigh teicneolaíocht leathsheoltóra, d’athraigh na gáis a úsáidtear sa phróiseas monaraíochta freisin. Sa lá atá inniu ann, úsáideann monarchana monaraíochta leathsheoltóra raon leathan gás, ó gháis uaisle amhailcrioptónagusneondo speicis imoibríocha amhail trífhluairíd nítrigine (NF3) agus heicseafhluairíd tungstain (WF6).

Éileamh méadaitheach ar íonacht

Ó aireagáíodh an chéad mhicrishliseán tráchtála, tá méadú beagnach easpónantúil suntasach feicthe ag an domhan ar fheidhmíocht gléasanna leathsheoltóra. Le cúig bliana anuas, ceann de na bealaí is cinnte chun an cineál seo feabhsúcháin feidhmíochta a bhaint amach ná trí “scálú méide”: príomhthoisí ailtireachtaí sliseanna atá ann cheana a laghdú d’fhonn níos mó trasraitheoirí a fháscadh isteach i spás ar leith. Chomh maith leis sin, tá léimeanna tagtha ar fheidhmíocht gléasanna mar gheall ar fhorbairt ailtireachtaí sliseanna nua agus úsáid ábhar ceannródaíoch.

Sa lá atá inniu ann, tá toisí criticiúla leathsheoltóirí ceannródaíocha chomh beag sin nach bealach inmharthana a thuilleadh é scálú méide chun feidhmíocht gléasanna a fheabhsú. Ina áit sin, tá taighdeoirí leathsheoltóirí ag lorg réitigh i bhfoirm ábhar nua agus ailtireachtaí sliseanna 3T.

A bhuí le blianta fada d’athdhearadh gan staonadh, tá feistí leathsheoltóra an lae inniu i bhfad níos cumhachtaí ná na micrishliseanna a bhí ann roimhe seo - ach tá siad níos leochailí freisin. Tá teacht chun cinn na teicneolaíochta déantúsaíochta vaiféir 300mm tar éis an leibhéal rialaithe eisíontas atá riachtanach le haghaidh monarú leathsheoltóirí a mhéadú. Is féidir le fiú an truailliú is lú i bpróiseas monaraíochta (go háirithe gáis neamhchoitianta nó táimhe) teip tubaisteach trealaimh a bheith mar thoradh air - mar sin tá íonacht gáis níos tábhachtaí anois ná riamh.

I gcás gléasra monaraíochta leathsheoltóirí tipiciúil, is é gás sár-ardíonachta an costas ábhair is mó cheana féin i ndiaidh sileacain féin. Meastar go méadóidh na costais seo de réir mar a ardaíonn an t-éileamh ar leathsheoltóirí go hardáin nua. Tá imeachtaí san Eoraip tar éis cur isteach breise ar mhargadh teannasach an gháis nádúrtha sár-ardbhrú. Tá an Úcráin ar cheann de na honnmhaireoirí gáis ard-íonachta is mó ar domhan.neoncomharthaí; ciallaíonn ionradh na Rúise go bhfuil srian á chur ar sholáthairtí an gháis neamhchoitianta. Mar thoradh air sin, bhí ganntanas agus praghsanna níos airde ar gháis uaisle eile amhailcrioptónagusxeanón.