Is iad gáis íonachta ultra-ard (UHP) cuisle an tionscail leathsheoltóra. De réir mar a chuireann éileamh gan fasach agus cur isteach ar shlabhraí soláthair domhanda ardú ar phraghas an gháis ardbhrú, tá cleachtais nua deartha agus déantúsaíochta leathsheoltóra ag méadú an leibhéal rialaithe truaillithe a theastaíonn. Maidir le monaróirí leathsheoltóra, tá sé níos tábhachtaí ná riamh a bheith in ann íonacht an gháis UHP a chinntiú.

Tá Gáis Ultra-Ardíonachta (UHP) Fíorchriticiúil i Déantúsaíocht Leathsheoltóra Nua-Aimseartha

Ceann de na príomh-fheidhmchláir atá ag gás UHP ná támhúchán: úsáidtear gás UHP chun atmaisféar cosanta a sholáthar timpeall comhpháirteanna leathsheoltóra, rud a chosnaíonn iad ó éifeachtaí díobhálacha taise, ocsaigine agus ábhar salaithe eile san atmaisféar. Mar sin féin, níl inertization ach ceann amháin de go leor feidhmeanna éagsúla a chomhlíonann gáis sa tionscal leathsheoltóra. Ó gháis plasma príomhúla go gáis imoibríocha a úsáidtear in eitseáil agus anáil, úsáidtear gáis ultra-ardbhrú chun críocha éagsúla agus tá siad riachtanach ar fud an tslabhra soláthair leathsheoltóra.

Áirítear le cuid de na “croígháis” sa tionscal leathsheoltóranítrigin(a úsáidtear mar ghlanadh ginearálta agus gás támh),argón(a úsáidtear mar phríomhghás plasma in imoibrithe eitseála agus sil-leagan),héiliam(a úsáidtear mar ghás támh a bhfuil airíonna aistrithe teasa speisialta aige) agushidrigin(imríonn sé róil iolracha in annealing, sil-leagain, epitaxy agus glanadh plasma).

De réir mar a tháinig forbairt agus athrú ar theicneolaíocht leathsheoltóra, is amhlaidh atá na gáis a úsáidtear sa phróiseas déantúsaíochta. Sa lá atá inniu ann, úsáideann monarchana déantúsaíochta leathsheoltóra raon leathan gáis, ó gháis uasal marcrioptónagusneondo speicis imoibríocha amhail trífhluairíd nítrigine (NF 3 ) agus heicseafluairíd tungstain (WF 6 ).

Éileamh atá ag fás ar íonacht

Ó aireagán an chéad mhicrishlis tráchtála, tá méadú iontach gar-easpónantúil feicthe ag an domhan ar fheidhmíocht feistí leathsheoltóra. Le cúig bliana anuas, ceann de na bealaí is cinnte chun an cineál seo feabhsú feidhmíochta a bhaint amach ná trí “scálú méide”: príomhthoisí na hailtireachta sliseanna atá ann cheana a laghdú chun níos mó trasraitheoirí a bhrú isteach i spás ar leith. Chomh maith leis seo, tá forbairtí ar fheidhmíocht gléasanna tar éis forbairt na hailtireachta sliseanna nua agus úsáid na n-ábhar nua-aimseartha.

Sa lá atá inniu ann, tá toisí criticiúla leathsheoltóirí ceannródaíocha chomh beag sin anois nach bealach inmharthana é scálaiú méide chun feidhmíocht gléas a fheabhsú. Ina áit sin, tá taighdeoirí leathsheoltóra ag lorg réitigh i bhfoirm ábhair núíosacha agus ailtireachtaí sliseanna 3D.

Ciallaíonn na blianta d'athdhearadh gan staonadh go bhfuil gléasanna leathsheoltóra an lae inniu i bhfad níos cumhachtaí ná na micrishliseanna d'aois - ach tá siad níos leochailí freisin. Le teacht na teicneolaíochta déantúsaíochta wafer 300mm tá méadú tagtha ar an leibhéal rialaithe eisíontais a theastaíonn le haghaidh déantúsaíochta leathsheoltóra. Is féidir teip tubaisteach trealaimh a bheith mar thoradh ar fiú an truailliú is lú i bpróiseas monaraíochta (go háirithe gáis neamhchoitianta nó támh) – mar sin tá íonacht an gháis níos tábhachtaí anois ná riamh.

Maidir le gléasra déantúsaíochta leathsheoltóra tipiciúil, is é gás ultra-ard-íonachta an costas ábhartha is mó cheana féin tar éis sileacain féin. Níltear ag súil go dtiocfaidh méadú ar na costais seo ach de réir mar a ardóidh an t-éileamh ar leathsheoltóirí chuig airde nua. Chuir imeachtaí san Eoraip isteach sa bhreis ar mhargadh an gháis nádúrtha atá thar a bheith ardbhrú. Tá an Úcráin ar cheann de na honnmhaireoirí ardíonachta is mó ar domhanneoncomharthaí; Ciallaíonn ionradh na Rúise go bhfuil srian á chur ar sholáthar an gháis neamhchoitianta. Mar thoradh air seo bhí ganntanas agus praghsanna níos airde ar gháis uasal eile ar nóscrioptónagusxeanón.