Is iad gáis íonachta ultra-ard (UHP) an t-uafás a bhaineann leis an tionscal leathsheoltóra. De réir mar a bhrúnn éileamh agus cur isteach gan fasach ar shlabhraí soláthair domhanda praghas an gháis brú-ard, tá cleachtais nua deartha agus déantúsaíochta leathsheoltóra ag méadú an leibhéal rialaithe truaillithe atá ag teastáil. Maidir le monaróirí leathsheoltóra, tá sé níos tábhachtaí ná riamh íonacht an gháis UHP a chinntiú.

Tá gáis Ultra High íonachta (UHP) fíor -chriticiúil i ndéantúsaíocht leathsheoltóra nua -aimseartha

Is é ceann de na príomhfheidhmithe de ghás UHP ná táimhe: Úsáidtear gás UHP chun atmaisféar cosanta a sholáthar timpeall ar chomhpháirteanna leathsheoltóra, rud a chosnaíonn iad ó éifeachtaí dochracha taise, ocsaigine agus ábhar salaithe eile san atmaisféar. Mar sin féin, níl sa támh ach ceann amháin de go leor feidhmeanna éagsúla a fheidhmíonn gáis sa tionscal leathsheoltóra. Ó gháis phlasma phríomhúla go gáis imoibríocha a úsáidtear chun eitseáil agus anáil a dhéanamh, úsáidtear gáis brú-ard chun críocha éagsúla agus tá siad riachtanach ar fud an tslabhra soláthair leathsheoltóra.

Áirítear ar chuid de na gáis “croí” sa tionscal leathsheoltóranítrigin(a úsáidtear mar ghlanadh ginearálta agus mar ghás támh),mangrán(a úsáidtear mar phríomhghás plasma i bhfrithghníomhartha eitseáil agus sil -leagan),héiliam(a úsáidtear mar ghás támh le hairíonna aistrithe teasa speisialta) agushidrigin.

De réir mar a tháinig athrú agus athrú ar theicneolaíocht leathsheoltóra, mar sin baineadh úsáid as na gáis sa phróiseas monaraíochta. Inniu, úsáideann plandaí déantúsaíochta leathsheoltóra raon leathan gáis, ó gháis uasal marKiptiptonisneonle speicis imoibríocha amhail trifluoride nítrigine (NF 3) agus heicsirtí tungstain (WF 6).

Éileamh ag fás ar íonacht

Ó cuireadh an chéad mhicrishlis tráchtála ar an aireagán, tá méadú iontach ar an domhan ag an domhan i bhfeidhmíocht na bhfeistí leathsheoltóra. Le cúig bliana anuas, is é ceann de na bealaí is fearr chun an cineál seo feabhsúcháin a bhaint amach ná “scálú méide”: príomhthoisí na n -ailtireachtaí sliseanna atá ann cheana a laghdú chun níos mó trasraitheoirí a fháisceadh i spás ar leith. Chomh maith leis seo, tá leapáin i bhfeidhmíocht na bhfeistí tar éis ailtireachtaí sliseanna nua a fhorbairt agus úsáid ábhar ceannródaíoch.

Sa lá atá inniu ann, tá na toisí criticiúla a bhaineann le leathsheoltóirí ceannródaíocha chomh beag sin anois nach bealach inmharthana é an méid seo a leanas chun feidhmíocht na bhfeistí a fheabhsú. Ina áit sin, tá taighdeoirí leathsheoltóra ag lorg réitigh i bhfoirm ábhar núíosach agus ailtireachtaí sliseanna 3D.

Ciallaíonn deich mbliana de athdhearadh gan staonadh go bhfuil feistí leathsheoltóra an lae inniu i bhfad níos cumhachtaí ná na micrishliseanna sean - ach tá siad níos leochailí freisin. Tá méadú tagtha ar an leibhéal rialaithe eisíontas a theastaíonn le haghaidh déantúsaíochta leathsheoltóra le teacht na teicneolaíochta monaraithe 300mm. Féadann fiú an t -éilliú is lú i bpróiseas monaraíochta (go háirithe gáis neamhchoitianta nó támh) teip ar threalamh tubaisteach a bheith mar thoradh air - mar sin tá íonacht gháis níos tábhachtaí anois ná riamh.

I gcás gléasra monaraithe leathsheoltóra tipiciúil, is é gás ultra-ard-íonachta an costas ábhartha is mó cheana féin tar éis sileacain féin. Níltear ag súil go méadóidh na costais seo ach de réir mar a théann an t -éileamh ar leathsheoltóirí ar airde nua. Tá imeachtaí san Eoraip tar éis cur isteach breise ar an margadh gáis nádúrtha brú-ard-ard-brú. Tá an Úcráin ar cheann de na honnmhaireoirí is mó ar domhan den ard-íonachtneoncomharthaí; Ciallaíonn ionradh na Rúise go bhfuil srian ar sholáthairtí an gháis neamhchoitianta. Mar thoradh air seo bhí ganntanas agus praghsanna níos airde de gháis uasal eile marKiptiptonisXenón.