gáis speisialtachtadifriúil ón nginearáltagáis thionsclaíochasa mhéid is go bhfuil úsáidí speisialaithe acu agus go gcuirtear i bhfeidhm iad i réimsí sonracha. Tá ceanglais shonracha acu maidir le híonacht, cion eisíontas, comhdhéanamh, agus airíonna fisiceacha agus ceimiceacha. I gcomparáid le gáis thionsclaíocha, tá gáis speisialtachta níos éagsúla ó thaobh éagsúlachta de ach tá méideanna táirgthe agus díolacháin níos lú acu.

Angáis mheascthaagusgáis chalabrúcháin chaighdeánachaIs comhpháirteanna tábhachtacha de gháis speisialtachta iad na gáis a úsáidimid go coitianta. De ghnáth roinntear gáis mheasctha ina ngáis mheasctha ginearálta agus ina ngáis mheasctha leictreonacha.

Áirítear ar gháis mheasctha ghinearálta:gás measctha léasair, gás measctha braite ionstraimí, gás measctha táthú, gás measctha caomhnaithe, gás measctha foinse solais leictrigh, gás measctha taighde míochaine agus bitheolaíoch, gás measctha díghalrúcháin agus steiriliú, gás measctha aláraim ionstraimí, gás measctha ardbhrú, agus aer grád nialasach.

Áirítear ar mheascáin gháis leictreonacha meascáin gháis eipitacsacha, meascáin gháis taiscthe gaile ceimicigh, meascáin gháis dópála, meascáin gháis eitseála, agus meascáin gháis leictreonacha eile. Tá ról fíor-riachtanach ag na meascáin gháis seo i dtionscail na leathsheoltóirí agus na micrileictreonaice agus úsáidtear go forleathan iad i ndéantúsaíocht chiorcad comhtháite ar scála mór (LSI) agus ciorcad comhtháite an-mhórscála (VLSI), chomh maith le táirgeadh gléasanna leathsheoltóra.

Is iad 5 chineál gás measctha leictreonacha na cinn is coitianta a úsáidtear

Dópáil gáis mheasctha

I monarú gléasanna leathsheoltóra agus ciorcad comhtháite, tugtar eisíontais áirithe isteach in ábhair leathsheoltóra chun an seoltacht agus an fhriotaíocht atá ag teastáil a thabhairt dóibh, rud a chuireann ar chumas friotóirí, acomhail PN, sraitheanna adhlactha, agus ábhair eile a mhonarú. Tugtar gáis dópánaithe ar na gáis a úsáidtear sa phróiseas dópála. Áirítear leis na gáis seo go príomha arsín, fosfín, trífhluairíd fosfair, peantafhluairíd fosfair, trífhluairíd arsanaic, peantafhluairíd arsanaic,trífhluairíd bhóróin, agus débhórán. De ghnáth, measctar an fhoinse dópán le gás iompróra (amhail argón agus nítrigin) i gcomh-aireachta foinse. Ansin, instealltar an gás measctha go leanúnach i bhfoirnéis scaipthe agus scaipeann sé timpeall an tsliabháin, ag taisceadh an dópán ar dhromchla an tsliabháin. Imoibríonn an dópán ansin le sileacan chun miotal dópán a fhoirmiú a imirceann isteach sa sileacan.

Meascán gáis fáis epitaxial

Is éard is fás eipitacsach ann ná próiseas ina ndéantar ábhar criostail aonair a thaisceadh agus a fhás ar dhromchla foshraithe. Sa tionscal leathsheoltóra, tugtar gáis eipitacsacha ar na gáis a úsáidtear chun sraith amháin nó níos mó d'ábhar a fhás ag baint úsáide as taisceadh gaile ceimiceach (CVD) ar foshraith a roghnaítear go cúramach. I measc na ngás eipitacsach sileacain choitianta tá déchlórasiléin déhidrigine, teitreaclóiríd sileacain, agus siléin. Úsáidtear iad go príomha le haghaidh taisceadh sileacain eipitacsach, taisceadh sileacain pholachriostalach, taisceadh scannán ocsaíd sileacain, taisceadh scannán níotráite sileacain, agus taisceadh scannán sileacain neamhchruthach le haghaidh cealla gréine agus gléasanna íogaire don solas eile.

Gás ionchlannaithe ian

I ndéantúsaíocht gléasanna leathsheoltóra agus ciorcad comhtháite, tugtar gáis ionchlannaithe ian ar na gáis a úsáidtear sa phróiseas ionchlannaithe ian go comhchoiteann. Luasghéaraítear eisíontais ianaithe (amhail iain bhóróin, fosfar, agus arsanaic) go leibhéal ard fuinnimh sula ndéantar iad a ionchlannú isteach sa tsubstráit. Is é an teicneolaíocht ionchlannaithe ian is forleithne a úsáidtear chun voltas tairsí a rialú. Is féidir méid na n-eisíontais ionchlannaithe a chinneadh trí shruth bhíoma na n-ian a thomhas. De ghnáth, áirítear gáis fosfar, arsanaic, agus bóróin i ngáis ionchlannaithe ian.

Gás measctha greanta

Is éard is greanadh ann ná an próiseas ina ndéantar an dromchla próiseáilte (amhail scannán miotail, scannán ocsaíd sileacain, srl.) a ghreanadh ar an tsubstráit nach bhfuil clúdaithe ag fótafhriotaíocht, agus an limistéar atá clúdaithe ag fótafhriotaíocht á chaomhnú ag an am céanna, chun an patrún íomháithe riachtanach a fháil ar dhromchla an tsubstráit.

Meascán Gáis Taiscthe Gaile Ceimiceach

Úsáideann taisceadh gaile ceimiceach (CVD) comhdhúile so-ghalaithe chun substaint nó comhdhúil aonair a thaisceadh trí imoibriú ceimiceach céim gaile. Is modh foirmithe scannáin é seo a úsáideann imoibrithe ceimiceacha céim gaile. Athraíonn na gáis CVD a úsáidtear ag brath ar an gcineál scannáin atá á fhoirmiú.