Gás léasair

Úsáidtear gás léasair go príomha le haghaidh gáis annealaithe léasair agus liteagrafaíocht sa tionscal leictreonaic. Ag baint tairbhe as nuálaíocht scáileáin fón póca agus leathnú na réimsí iarratais, déanfar scála an mhargaidh polysilicon íseal-teocht a leathnú tuilleadh, agus tá feabhas mór tagtha ar fheidhmíocht TFTanna sa phróiseas annealaithe léasair. I measc na ngás neon, fluairín, agus argón a úsáidtear sa léasair excimer ArF chun leathsheoltóirí a mhonarú, is ionann neon agus níos mó ná 96% den mheascán gáis léasair. Le mionchoigeartú na teicneolaíochta leathsheoltóra, tá méadú tagtha ar úsáid léasair excimer, agus tá méadú géar ar an éileamh ar ghás neon arna gcaitheamh ag léasair excimer ArF mar thoradh ar theicneolaíocht nochta dúbailte a thabhairt isteach. Ag baint leasa as cur chun cinn logánú gáis speisialtachta leictreonacha, beidh spás fáis margaidh níos fearr ag monaróirí baile sa todhchaí.

Is é meaisín liteagrafaíocht an trealamh lárnach de mhonarú leathsheoltóra. Sainmhíníonn liteagrafaíocht méid trasraitheoirí. Is é forbairt chomhordaithe an tslabhra tionscail liteagrafaíocht an eochair do bhriseadh meaisín liteagrafaíocht. Tá ard-ábhar teicneolaíochta ag na hábhair leathsheoltóra meaitseála cosúil le photoresist, gás photolithography, photomask, agus sciath agus trealamh forbartha. Is é gás liteagrafaíocht an gás a ghineann an meaisín liteagrafaíocht léasair ultraivialait dhomhain. Is féidir le gáis liteagrafaíochta éagsúla foinsí solais de thonnfhaid éagsúla a tháirgeadh, agus bíonn tionchar díreach ag a dtonnfhad ar réiteach an mheaisín liteagrafaíocht, atá ar cheann de chroílár an mheaisín liteagrafaíocht. In 2020, is é 413 aonad díolacháin dhomhanda iomlán na meaisíní liteagrafaíochta, agus b'ionann díolacháin ASML 258 aonad agus 62%, b'ionann díolacháin Canon 122 aonad agus 30%, agus b'ionann díolacháin Nikon 33 aonad agus 8%.