An Méid is Mó de Ghás Speisialta Leictreonach – Trífhluairíd Nítrigine NF3

Coinníonn tionscal leathsheoltóra agus tionscal painéal ár dtíre leibhéal ard rathúnais. Tá spás margaidh leathan ag nítrigine trífhluairíd, mar ghás leictreonach speisialta riachtanach agus den toirt is mó i dtáirgeadh agus i bpróiseáil painéal agus leathsheoltóirí.

I measc na ngás leictreonach speisialta ina bhfuil fluairín a úsáidtear go coitianta táheicseafluairíd sulfair (SF6), heicseafluairíd tungstain (WF6),teitreaflúairíd charbóin (CF4), trífhluairmeatán (CHF3), trífhluairíd nítrigine (NF3), heicseafluaireatán (C2F6) agus ochtafluairprópán (C3F8). Úsáidtear trífhluairíd nítrigine (NF3) go príomha mar fhoinse fluairín do léasair cheimiceacha ardfhuinnimh gáis fluairíde hidrigine-fluairíde. Is féidir an chuid éifeachtach (thart ar 25%) den fhuinneamh imoibrithe idir H2-O2 agus F2 a scaoileadh trí radaíocht léasair, mar sin is iad léasair HF-OF na léasair is geallta i measc na léasair cheimiceacha.

Is gás greanta plasma den scoth é trífhluairíd nítrigine sa tionscal micrileictreonaice. Chun sileacan agus níotráit sileacain a ghreanadh, tá ráta greanta agus roghnaíocht níos airde ag trífhluairíd nítrigine ná teitreafluairíd carbóin agus meascán de theitreafluairíd carbóin agus ocsaigin, agus níl aon truailliú ar an dromchla. Go háirithe i ngreanta ábhar ciorcad comhtháite le tiús níos lú ná 1.5um, tá ráta greanta agus roghnaíocht an-mhaith ag trífhluairíd nítrigine, gan aon iarmhar a fhágáil ar dhromchla an réada ghreantaithe, agus is gníomhaire glantacháin an-mhaith é freisin. Le forbairt na nanateicneolaíochta agus forbairt mhórscála an tionscail leictreonaice, méadóidh a éileamh ó lá go lá.

Mar chineál gáis speisialta ina bhfuil fluairín, is é trífhluairíd nítrigine (NF3) an táirge gáis speisialta leictreonach is mó ar an margadh. Tá sé neamhghníomhach ó thaobh ceimice de ag teocht an tseomra, níos gníomhaí ná ocsaigin, níos cobhsaí ná fluairín, agus éasca le láimhseáil ag teocht ard.

Úsáidtear trífhluairíd nítrigine go príomha mar ghás greanta plasma agus mar ghníomhaire glantacháin seomra imoibrithe, atá oiriúnach do réimsí déantúsaíochta ar nós sceallóga leathsheoltóra, taispeántais painéil chomhréidh, snáithíní optúla, cealla fótavoltach, etc.

I gcomparáid le gáis leictreonacha eile ina bhfuil fluairín, tá buntáistí imoibrithe tapa agus ardéifeachtúlachta ag trífhluairíd nítrigine, go háirithe i ngreamú ábhar ina bhfuil sileacan amhail níotráit sileacain, tá ráta greamaithe agus roghnaíocht ard aige, gan aon iarmhar a fhágáil ar dhromchla an réada greanta, agus is gníomhaire glantacháin an-mhaith é freisin, agus níl sé truaillithe don dromchla agus is féidir leis freastal ar riachtanais an phróisis phróiseála.