An méid is mó de ghás speisialta leictreonach - trifluoride nítrigine NF3

Coinníonn tionscal leathsheoltóra ár dtír agus tionscal painéil ardleibhéal rathúnais. Tá spás margaidh leathan ag trifluoride nítrigine, mar ghás leictreonach speisialta agus is mó toirte i dtáirgeadh agus i bpróiseáil painéal agus leathsheoltóirí.

Áirítear le gáis leictreonacha speisialta fluairín a úsáidtear go coitiantaHexafluoride sulfair (SF6), Tungstan Hexafluoride (WF6),tetrafluoride carbóin (CF4). Úsáidtear trifluoride nítrigine (NF3) go príomha mar fhoinse fluairín le haghaidh léasair cheimiceacha ardfhuinnimh gás-fhluairíde hidrigine. Is féidir an chuid éifeachtach (thart ar 25%) den fhuinneamh imoibriúcháin idir H2-O2 agus F2 a scaoileadh trí radaíocht léasair, mar sin is iad HF-of Lasers na léasair is bisiúla i measc léasair cheimiceacha.

Is éard atá i gceist le trifluoride nítrigine ná gás eitseáil plasma den scoth sa tionscal micrileictreonaic. Le haghaidh sileacain agus nítríd sileacain a eitseáil, tá ráta eitseáil níos airde ag trifluoride nítrigine ná roghnaíocht ná tetrafluoride carbóin agus meascán de tetrafluoride carbóin agus ocsaigin, agus níl aon truailliú aige ar an dromchla. Go háirithe maidir le hábhair chiorcaid chomhtháite a eitseáil le tiús níos lú ná 1.5um, tá ráta agus roghnaíocht an -mhaith ag trifluoride nítrigine, rud a fhágann nach bhfuil aon iarmhar ar dhromchla an réada eitseáilte, agus is gníomhaire glantacháin an -mhaith é freisin. Le forbairt nanaitheicneolaíochta agus forbairt mhórscála an tionscail leictreonaice, méadóidh a éileamh ó lá go lá.

Mar chineál gáis speisialta ina bhfuil fluairín, is é trifluoride nítrigine (NF3) an táirge gáis speisialta leictreonach is mó sa mhargadh. Tá sé támh go ceimiceach ag teocht an tseomra, níos gníomhaí ná ocsaigin, níos cobhsaí ná fluairín, agus éasca le láimhseáil ag teocht ard.

Úsáidtear trifluoride nítrigine den chuid is mó mar ghníomhaire glantacháin plasma eitseáil gáis agus imoibriúcháin, atá oiriúnach do pháirceanna déantúsaíochta amhail sceallóga leathsheoltóra, taispeántais phainéil árasán, snáithíní optúla, cealla fótavoltacha, etc.

I gcomparáid le gáis leictreonacha eile ina bhfuil fluairín, tá buntáistí ag baint le trifluoride nítrigine agus le héifeachtúlacht ard, go háirithe maidir le hábhair sileacain ina bhfuil sileacain, amhail nítríd sileacain, tá ráta ard eitseáil agus roghnaíocht aige, rud a fhágann nach bhfreastalaíonn sé ar dhromchla an dromchla agus go bhfreastalaíonn sé ar ghníomhaire an-mhaith agus go bhfreastalaíonn sé ar an ngníomhaire dromchla agus go bhfuil sé in ann an t-ábhar a ghlanadh chun an t-éadach a dhéanamh chun an t-ábhar a dhéanamh chun an t-ábhar a fhreastalaíonn ar an dromchla a bhaineann leis an dromchla a bhaineann leis an dromchla chun an t-ábhar a ghlanadh chun an t-ábhar a ghlanadh chun an t-ábhar a ghlanadh chun an t-ábhar a ghlanadh chun an t-ábhar a ghlanadh agus a fhreastalaíonn ar an dromchla agus le heaspa an dromchla agus le h-an-phúilíneacht an dromchla agus próiseas.