An Gás Speisialta Leictreonach is mó a úsáidtear - Trifluoride nítrigine

Áirítear le gáis leictreonacha speisialta ina bhfuil coitianta fluairínHexafluoride sulfair (SF6), Tungstan Hexafluoride (WF6),tetrafluoride carbóin (CF4).

Le forbairt nanaitheicneolaíochta agus forbairt mhórscála an tionscail leictreonaice, méadóidh a éileamh ó lá go lá. Tá spás margaidh leathan ag trifluoride nítrigine, mar ghás leictreonach speisialta agus is mó a úsáidtear i dtáirgeadh agus i bpróiseáil painéal agus leathsheoltóirí.

Mar chineál gáis speisialta ina bhfuil fluairín,Trifluoride nítrigine (NF3)Is é an táirge gáis speisialta leictreonach leis an gcumas margaidh is mó. Tá sé táimhe go ceimiceach ag teocht an tseomra, níos gníomhaí ná ocsaigin ag teocht ard, níos cobhsaí ná fluairín, agus éasca le láimhseáil. Úsáidtear trifluoride nítrigine go príomha mar ghás eitseáil plasma agus mar ghníomhaire glantacháin seomra imoibriúcháin, agus tá sé oiriúnach do na réimsí déantúsaíochta de sceallóga leathsheoltóra, taispeántais phainéil árasán, snáithíní optúla, cealla fótavoltacha, etc.

I gcomparáid le gáis leictreonacha eile ina bhfuil fluairín,trifluoride nítriginetá na buntáistí a bhaineann le frithghníomh tapa agus ardéifeachtúlacht. Go háirithe maidir le hábhair sileacain ina bhfuil sileacain amhail nítríd sileacain, tá ráta ard eitseáil agus roghnaíocht aige, ag fágáil aon iarmhar ar dhromchla an réada eitseáilte. Is gníomhaire glantacháin an -mhaith é freisin agus níl aon truailliú aige ar an dromchla, ar féidir leis freastal ar riachtanais an phróisis próiseála.