Áirítear le gáis leictreonacha speisialta coitianta fluairínheicseafluairíd sulfair (SF6), heicseafluairíd tungstain (WF6),teitreafluairíd charbóin (CF4), trífhluaraimeatán (CHF3), trífhluairíd nítrigine (NF3), heicseafluaireatán (C2F6) agus ochtafluarapróipéin (C3F8).
Le forbairt na nanaitheicneolaíochta agus forbairt ar scála mór an tionscail leictreonaic, méadóidh a éileamh ó lá go lá. Tá spás margaidh leathan ag trifluoride nítrigine, mar ghás leictreonach speisialta fíor-riachtanach agus is mó a úsáidtear i dtáirgeadh agus i bpróiseáil painéil agus leathsheoltóirí.
Mar chineál gáis speisialta ina bhfuil fluairín,trifluairíd nítrigine (NF3)an táirge gáis speisialta leictreonach leis an acmhainn mhargaidh is mó. Tá sé támh go ceimiceach ag teocht an tseomra, níos gníomhaí ná ocsaigin ag teocht ard, níos cobhsaí ná fluairín, agus éasca le láimhseáil. Úsáidtear trifluairíd nítrigine go príomha mar ghás eitseála plasma agus gníomhaire glantacháin seomra imoibrithe, agus tá sé oiriúnach do réimsí déantúsaíochta sliseanna leathsheoltóra, taispeántais painéil chomhréidh, snáithíní optúla, cealla fótavoltach, etc.
I gcomparáid le gáis leictreonacha eile ina bhfuil fluairín,trifluairíd nítriginetá na buntáistí a bhaineann le imoibriú tapa agus éifeachtacht ard. Go háirithe i eitseáil ábhar ina bhfuil sileacain mar nítríde sileacain, tá ráta ard eitseála agus roghnaíochta aige, rud a fhágann nach bhfuil aon iarmhar ar dhromchla an réad eitseáilte. Is gníomhaire glanadh an-mhaith é freisin agus níl aon truailliú ar an dromchla, ar féidir leis freastal ar riachtanais an phróisis phróiseála.
Am postála: Meán Fómhair-14-2024
