I measc na ngás leictreonach speisialta coitianta ina bhfuil fluairín táheicseafluairíd sulfair (SF6), heicseafluairíd tungstain (WF6),teitreaflúairíd charbóin (CF4), trífhluairmeatán (CHF3), trífhluairíd nítrigine (NF3), heicseafluaireatán (C2F6) agus ochtafluairprópán (C3F8).
Le forbairt na nanateicneolaíochta agus forbairt mhórscála an tionscail leictreonaice, méadóidh an t-éileamh atá air ó lá go lá. Tá spás margaidh leathan ag nítrigine trífhluairíd, mar ghás leictreonach speisialta fíor-riachtanach agus is mó a úsáidtear i dtáirgeadh agus i bpróiseáil painéal agus leathsheoltóirí.
Mar chineál gáis speisialta ina bhfuil fluairín,trífhluairíd nítrigine (NF3)Is é an táirge gáis speisialta leictreonach leis an acmhainn mhargaidh is mó. Tá sé támh go ceimiceach ag teocht an tseomra, níos gníomhaí ná ocsaigin ag teocht ard, níos cobhsaí ná fluairín, agus éasca le láimhseáil. Úsáidtear trífhluairíd nítrigine go príomha mar ghás greanta plasma agus mar ghníomhaire glantacháin seomra imoibrithe, agus tá sé oiriúnach do réimsí déantúsaíochta sceallóga leathsheoltóra, taispeántais painéil chomhréidh, snáithíní optúla, cealla fótavoltacha, etc.
I gcomparáid le gáis leictreonacha eile ina bhfuil fluairín,trífhluairíd nítrigineTá buntáistí imoibrithe tapa agus ardéifeachtúlachta aige. Go háirithe i ngreamú ábhar ina bhfuil sileacan amhail níotráit sileacain, tá ráta greamaithe agus roghnaíocht ard aige, gan aon iarmhar a fhágáil ar dhromchla an réada greanta. Is gníomhaire glantacháin an-mhaith é freisin agus níl aon truailliú ar an dromchla, rud a fhéadann freastal ar riachtanais an phróisis phróiseála.
Am an phoist: 14 Meán Fómhair 2024
