Ról heicseafluairíde sulfair i ngreamú níotráite sileacain

Is gás é heicseafluairíd sulfair a bhfuil airíonna inslithe den scoth aige agus is minic a úsáidtear é i múchadh stua ardvoltais agus i gclaochladáin, línte tarchuir ardvoltais, claochladáin, etc. Mar sin féin, sa bhreis ar na feidhmeanna seo, is féidir heicseafluairíd sulfair a úsáid freisin mar ghreantóir leictreonach. Is greantóir leictreonach idéalach é heicseafluairíd sulfair ard-íonachta grád leictreonach, a úsáidtear go forleathan i réimse na teicneolaíochta micrileictreonaice. Inniu, tabharfaidh eagarthóir gáis speisialta Niu Ruide, Yueyue, isteach feidhmiú heicseafluairíd sulfair in ghreantáil níotráite sileacain agus tionchar paraiméadair éagsúla.

Pléimid an próiseas greanta plasma SF6 SiNx, lena n-áirítear athrú chumhacht an phlasma, cóimheas gáis SF6/He agus cur leis an ngás cationach O2, ag plé a thionchar ar ráta greanta an tsraith chosanta eilimint SiNx de TFT, agus ag baint úsáide as radaíocht plasma. Déanann an speictriméadar anailís ar athruithe tiúchana gach speicis i plasma SF6/He, SF6/He/O2 agus an ráta dícheangailte SF6, agus déanann sé iniúchadh ar an ngaol idir athrú ráta greanta SiNx agus tiúchan na speiceas plasma.

Fuair ​​staidéir amach nuair a mhéadaítear cumhacht an phlasma, go méadaíonn an ráta greanta; má mhéadaítear ráta sreafa SF6 sa phlasma, go méadaíonn tiúchan an adaimh F agus go bhfuil comhghaol dearfach aige leis an ráta greanta. Ina theannta sin, tar éis an gás cationach O2 a chur leis faoin ráta sreafa iomlán seasta, beidh éifeacht aige sin go méadófar an ráta greanta, ach faoi chóimheasa sreafa O2/SF6 éagsúla, beidh meicníochtaí imoibrithe éagsúla ann, ar féidir iad a roinnt ina thrí chuid: (1) Tá an cóimheas sreafa O2/SF6 an-bheag, is féidir le O2 cabhrú le dícheangal SF6, agus tá an ráta greanta ag an am seo níos mó ná nuair nach gcuirtear O2 leis. (2) Nuair a bhíonn an cóimheas sreafa O2/SF6 níos mó ná 0.2 don eatramh ag druidim le 1, ag an am seo, mar gheall ar an méid mór dícheangailte SF6 chun adaimh F a fhoirmiú, is é an ráta greanta is airde; ach ag an am céanna, tá méadú ag teacht ar líon na n-adamh O sa phlasma agus is furasta SiOx nó SiNxO(yx) a fhoirmiú le dromchla an scannáin SiNx, agus dá mhéad a mhéadaíonn líon na n-adamh O, is ea is deacra a bheidh sé d’adamh F dul i mbun an imoibrithe greanta. Dá bhrí sin, tosaíonn an ráta greanta ag moilliú nuair a bhíonn an cóimheas O2/SF6 gar do 1. (3) Nuair a bhíonn an cóimheas O2/SF6 níos mó ná 1, laghdaíonn an ráta greanta. Mar gheall ar an méadú mór ar O2, imbhuaileann na hadaimh F dícheangailte le O2 agus foirmíonn siad OF, rud a laghdaíonn tiúchan na n-adamh F, rud a fhágann go laghdaítear an ráta greanta. Is léir ón méid seo nuair a chuirtear O2 leis, go bhfuil an cóimheas sreafa O2/SF6 idir 0.2 agus 0.8, agus is féidir an ráta greanta is fearr a fháil.