Tá teicneolaíocht greanta tirim ar cheann de na príomhphróisis. Is ábhar ríthábhachtach é gás greanta tirim i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí agus foinse gháis thábhachtach le haghaidh greanta plasma. Bíonn tionchar díreach ag a fheidhmíocht ar cháilíocht agus ar fheidhmíocht an táirge deiridh. Roinneann an t-alt seo go príomha cad iad na gáis ghreantála a úsáidtear go coitianta sa phróiseas greanta tirim.
Gáis bunaithe ar fhluairín: amhailteitreaflúairíd charbóin (CF4), heicseafluairéatán (C2F6), trífhluairmeatán (CHF3) agus peirfhluairphrópán (C3F8). Is féidir leis na gáis seo fluairídí so-ghalaithe a ghiniúint go héifeachtach agus sileacan agus comhdhúile sileacain á n-eitseáil, rud a fhágann go mbaintear ábhar as.
Gáis bunaithe ar chlóirín: amhail clóirín (Cl2),tríchlóiríd bóróin (BCl3)agus teitreaclóiríd sileacain (SiCl4). Is féidir le gáis atá bunaithe ar chlóirín iain chlóiríde a sholáthar le linn an phróisis greanta, rud a chabhraíonn le ráta agus roghnaíocht an ghreantacháin a fheabhsú.
Gáis bunaithe ar bhróimín: amhail bróimín (Br2) agus iaidíd bróimín (IBr). Is féidir le gáis bunaithe ar bhróimín feidhmíocht ghreanadh níos fearr a sholáthar i bpróisis ghreanadh áirithe, go háirithe agus ábhair chrua amhail cairbíd sileacain á ngreanadh.
Gáis bunaithe ar nítrigin agus ocsaigin: amhail trífhluairíd nítrigine (NF3) agus ocsaigin (O2). De ghnáth, úsáidtear na gáis seo chun na coinníollacha imoibrithe sa phróiseas greanta a choigeartú chun roghnaíocht agus treo na greanta a fheabhsú.
Baintear amach greanadh beacht ar dhromchla an ábhair leis na gáis seo trí mheascán de spútaradh fisiceach agus imoibrithe ceimiceacha le linn greanadh plasma. Braitheann rogha an gháis ghreantaithe ar an gcineál ábhair atá le greanadh, ar riachtanais roghnaíochta an ghreantaithe, agus ar an ráta greanta atá ag teastáil.
Am an phoist: 8 Feabhra 2025
