Eipeatacsach (fás)Ga Meascthas
Sa tionscal leathsheoltóra, tugtar gás eipitacsach ar an ngás a úsáidtear chun sraith amháin nó níos mó d'ábhar a fhás trí thaisceadh gaile ceimiceach ar foshraith a roghnaítear go cúramach.
I measc na ngás eipitacsach sileacain a úsáidtear go coitianta tá déchlórasilán, teitreaclóiríd sileacain agussilánÚsáidtear go príomha le haghaidh taisceadh sileacain eipitacsach, taisceadh scannán ocsaíd sileacain, taisceadh scannán níotráite sileacain, taisceadh scannán sileacain neamhchruthach le haghaidh cealla gréine agus fótaghlaitheoirí eile, etc. Is próiseas é eipitacsaíocht ina dtaisceadh agus ina bhfástar ábhar criostail aonair ar dhromchla foshraithe.
Gás Measctha Taisceadh Ceimiceach Gaile (CVD)
Is modh é CVD chun eilimintí agus comhdhúile áirithe a thaisceadh trí imoibrithe ceimiceacha céim gháis ag baint úsáide as comhdhúile so-ghalaithe, i.e., modh foirmithe scannáin ag baint úsáide as imoibrithe ceimiceacha céim gháis. Ag brath ar an gcineál scannáin a fhoirmítear, bíonn an gás taiscthe gaile ceimicigh (CVD) a úsáidtear difriúil freisin.
DópáilGás Measctha
I monarú gléasanna leathsheoltóra agus ciorcad comhtháite, déantar eisíontais áirithe a dópáil in ábhair leathsheoltóra chun an cineál seoltachta riachtanach agus friotaíocht áirithe a thabhairt do na hábhair chun friotóirí, acomhail PN, sraitheanna adhlactha, etc. a mhonarú. Tugtar gás dópála ar an ngás a úsáidtear sa phróiseas dópála.
Áirítear go príomha arsín, fosfín, trífhluairíd fosfair, peantafhluairíd fosfair, trífhluairíd arsanaic, peantafhluairíd arsanaic,trífhluairíd bhóróin, diborán, srl.
De ghnáth, measctar an fhoinse dópála le gás iompróra (amhail argón agus nítrigin) i gcomh-aireachta foinse. Tar éis measctha, déantar an sreabhadh gáis a instealladh go leanúnach isteach san fhoirnéis scaipthe agus timpeallaíonn sé an sceallóg, ag taisceadh dópálaithe ar dhromchla an sceallóige, agus ansin ag imoibriú le sileacan chun miotail dópáilte a ghiniúint a imirceann isteach sa sileacan.
GreanadhMeascán Gáis
Is éard is greanadh ann ná an dromchla próiseála (amhail scannán miotail, scannán ocsaíd sileacain, srl.) a ghreanadh ar an tsubstráit gan masc fótafhreasta a chlúdach, agus an limistéar á chaomhnú le masc fótafhreasta, chun an patrún íomháithe riachtanach a fháil ar dhromchla an tsubstráit.
I measc na modhanna greanta tá greanadh ceimiceach fliuch agus greanadh ceimiceach tirim. Tugtar gás greanta ar an ngás a úsáidtear in greanadh ceimiceach tirim.
De ghnáth is gás fluairíde (halíd) an gás greanta, amhailteitreaflúairíd charbóin, trífhluairíd nítrigine, trífhluairmeatán, heicseafluaireatán, peirfhluairphrópán, etc.
Am an phoist: 22 Samhain 2024