Síleann (SiH4)

Paraiméadair Theicniúla

Is comhdhúil de shileacan agus de hidrigin é Silane.Is téarma ginearálta é do shraith comhdhúile, lena n-áirítear monosilane (SiH4), disilane (Si2H6) agus roinnt comhdhúile sileacain-hidrigine ardleibhéil.Ina measc, is é monosilane an ceann is coitianta, dá ngairtear silane uaireanta le haghaidh gearr.Is gás gan dath é Silane le boladh mí-áitneamhach gairleog.Intuaslagtha in uisce, beagnach dothuaslagtha in eatánól, éitear, beinséin, clóraform, clóiríform sileacain agus teitreaclóiríd sileacain.Tá airíonna ceimiceacha silanes i bhfad níos gníomhaí ná alcáin agus is furasta iad a ocsaídiú.Is féidir dócháin spontáineach tarlú nuair a bhíonn sé i dteagmháil le haer.Ní imoibríonn sé le nítrigin faoi bhun 25°C, agus ní imoibríonn sé le comhdhúile hidreacarbóin ag teocht an tseomra.Tá tine agus pléascadh silane mar thoradh ar imoibriú le hocsaigin.Tá Silane thar a bheith íogair d'ocsaigin agus d'aer.Imoibreoidh Silane le tiúchan áirithe freisin go pléascach le hocsaigin ag teocht -180°C.Tá Silane tar éis éirí mar an gás speisialta is tábhachtaí a úsáidtear i bpróisis mhicrileictreonaic leathsheoltóra, agus úsáidtear é in ullmhú scannáin mhicrileictreonaic éagsúla, lena n-áirítear scannáin chriostail aonair, micreacriostalach, polycrystalline, ocsaíd sileacain, nítríd sileacain, agus silicídí miotail.Tá iarratais microelectronic silane fós ag forbairt go domhain: epitaxy íseal-teocht, epitaxy roghnach, agus epitaxy heteroepitaxial.Ní hamháin le haghaidh feistí sileacain agus ciorcaid chomhtháite sileacain, ach freisin le haghaidh feistí leathsheoltóra cumaisc (arsenide galium, chomhdhúile sileacain, etc.).Tá feidhm aige freisin maidir le hábhair tobair chandamach sárlattice a ullmhú.Is féidir a rá go n-úsáidtear silane i mbeagnach gach línte táirgeachta ciorcaid chomhtháite chun cinn san am atá inniu ann.Tá cur i bhfeidhm silane mar scannán agus sciath ina bhfuil sileacain tar éis leathnú ón tionscal micrileictreonaic traidisiúnta go réimsí éagsúla cosúil le cruach, innealra, ceimiceáin agus optaic.Feidhm eile a d'fhéadfadh a bheith ag silane ná déantúsaíocht páirteanna inneall ceirmeacha ardfheidhmíochta, go háirithe úsáid silane chun silicíde a mhonarú (Si3N4, SiC, etc.) tá aird níos mó agus níos mó tarraingthe ar theicneolaíocht micrea-phowdair.

Feidhmchlár:

①Leictreonach:

Cuirtear Silane i bhfeidhm ar shraitheanna sileacain ilchriostalacha ar sliseoga sileacain nuair a dhéantar leathsheoltóirí agus séalaithe a mhonarú.

② Gréine:

Úsáidtear Silane i ndéantúsaíocht modúl fótavoltach gréine.

③ Tionsclaíoch:

Úsáidtear é i nGloine Ghlais Choigilt Fuinnimh agus cuirtear i bhfeidhm é ar phróiseas scannáin thanaí taisceadh gaile.

Gnáthphacáiste:

Buntáiste:

① Níos mó ná deich mbliana ar an margadh;

monaróir deimhniú ②ISO;

③ seachadadh tapa;

④ Foinse amhábhar cobhsaí;

⑤ Córas anailíse ar líne le haghaidh rialú cáilíochta i ngach céim;

⑥ Riachtanas ard agus próiseas mionsonraithe maidir le láimhseáil sorcóir roimh líonadh;

⑦Purity: grád leictreonach ardíonachta;

⑧Úsáid: ábhair chealla gréine;ag déanamh polysilicon ardíonachta, ocsaíd sileacain agus snáithíní optúla;déantúsaíochta gloine daite.