Sa phróiseas monaraithe de theilgcheártaí sliseog leathsheoltóra le próisis táirgthe réasúnta ard, tá beagnach 50 cineál éagsúla gáis ag teastáil. De ghnáth roinntear gáis i mbulc -gháis agusgáis speisialta.

Cur i bhfeidhm gáis i micrileictreonaic agus i dtionscail leathsheoltóra Bhí ról tábhachtach i gcónaí ag úsáid gáis i bpróisis leathsheoltóra, go háirithe próisis leathsheoltóra a úsáidtear go forleathan i dtionscail éagsúla. Ó ULSI, TFT-LCD go dtí an tionscal micrea-leictrimheicniúil reatha (MEMS), úsáidtear próisis leathsheoltóra mar phróisis mhonaraithe táirgí, lena n-áirítear eitseáil tirim, ocsaídiú, ionchlannú ian, sil-leagan scannán tanaí, etc.

Mar shampla, tá a fhios ag go leor daoine go bhfuil sceallóga déanta as gaineamh, ach ag féachaint ar an bpróiseas iomlán de dhéantúsaíocht sliseanna, tá gá le níos mó ábhar, mar shampla fótaradóirí, leacht snasta, sprioc -ábhar, gás speisialta, etc. Éilíonn pacáistiú cúltaca freisin foshraitheanna, idirghníomhaithe, frámaí luaidhe, ábhair nasctha, etc. d'ábhair éagsúla. Is iad gáis speisialta leictreonacha an dara hábhar is mó i gcostais déantúsaíochta leathsheoltóra tar éis sliseoga sileacain, agus maisc agus fótaraitheoirí ina dhiaidh sin.

Tá tionchar cinntitheach ag íonacht an gháis ar fheidhmíocht chomhpháirte agus ar thoradh táirge, agus baineann sábháilteacht an tsoláthair gháis le sláinte pearsanra agus le sábháilteacht oibríochta monarchan. Cén fáth a mbíonn tionchar mór ag íonacht an gháis ar líne an phróisis agus ar phearsanra? Ní áibhéil é seo, ach is é saintréithe contúirteacha an gháis féin a chinneann é.

Aicmiú gás coitianta sa tionscal leathsheoltóra

Gnáthghás

Tugtar gás mór -gháis ar ghnáthghás freisin: tagraíonn sé do ghás tionsclaíoch le riachtanas íonachta níos ísle ná 5n agus méid mór táirgthe agus díolacháin. Is féidir é a roinnt i ngás aeir deighilte agus i ngás sintéiseach de réir modhanna éagsúla ullmhúcháin. Hidrigin (H2), nítrigin (N2), ocsaigin (O2), argón (A2), etc.;

Gás speisialtachta

Tagraíonn gás speisialtachta do ghás tionsclaíoch a úsáidtear i réimsí sonracha agus a bhfuil riachtanais speisialta aige maidir le íonacht, éagsúlacht, agus airíonna. Den chuid is móSIH4, Ph3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, Bcl3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… Agus mar sin de.

Cineálacha gáis spicial

Cineálacha de gháis speisialta: creimneach, tocsaineach, inadhainte, tacaíochta dócháin, támh, etc.
Aicmítear gáis leathsheoltóra a úsáidtear go coitianta mar seo a leanas:
(i) creimneach/tocsaineach:HCL、 BF3 、 WF6 、 HBR 、 SiH2CL2 、 NH3 、 PH3 、 CL2 、Bcl3…
(ii) Inlasta: H2 、CH4、SIH4、 PH3 、 ASH3 、 SiH2CL2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO…
(iii) Indóite: O2 、 Cl2 、 N2O 、 NF3…
(iv) támh: N2 、Cf4、 C2F6 、C4f8、SF6、 CO2 、Ne、Kr、 Sé…

Sa phróiseas déantúsaíochta sliseanna leathsheoltóra, úsáidtear thart ar 50 cineál éagsúla gáis speisialta (dá ngairtear gáis speisialta) i ocsaídiú, idirleathadh, sil -leagan, eitseáil, instealladh, fótagrafaíocht agus próisis eile, agus tá na céimeanna iomlána próisis níos mó ná na céadta. Mar shampla, úsáidtear PH3 agus ASH3 mar fhoinsí fosfair agus arsanaic sa phróiseas ionchlannaithe ian, Gáis-bhunaithe CF4, CHF3, SF6 agus gáis halaigine CI2, BCI3, HBR a úsáidtear go coitianta sa phróiseas eitseála, SIH4, NH3, N2o sa phróiseas sil-leagan, F2/KR/NE, KR/NE sa phróiseas sa phróiseas sa phróiseas.

Ó na gnéithe thuas, is féidir linn a thuiscint go bhfuil go leor gáis leathsheoltóra díobhálach don chorp daonna. Go háirithe, tá cuid de na gáis, ar nós Sih4, féin-adhainte. Chomh fada agus a sceitheann siad, imoibreoidh siad go foirtil le hocsaigin san aer agus tosóidh siad ag sruthán; Agus tá ASH3 an -tocsaineach. D'fhéadfadh aon sceitheadh ​​beag dochar a dhéanamh do shaol daoine, mar sin tá na riachtanais maidir le sábháilteacht an chórais rialaithe chun gás speisialta a úsáid ard go háirithe.

Éilíonn leathsheoltóirí go mbeidh gá le gáis ard-íonachta “trí chéim”

Íonacht gáis

Is iondúil go gcuirtear ábhar an atmaisféir neamhíonachta sa ghás in iúl mar chéatadán den íonacht gháis, amhail 99.9999%. Go ginearálta, sroicheann an ceanglas íonachta do gháis speisialta leictreonacha 5N-6N, agus léirítear é freisin leis an gcóimheas toirte idir an t-ábhar atmaisféir neamhíonachta PPM (cuid in aghaidh an mhilliúin), PPB (cuid in aghaidh an billiún), agus PPT (cuid in aghaidh an trilliún). Tá na riachtanais is airde ag an réimse leathsheoltóra leictreonach maidir le cobhsaíocht íonachta agus cáilíochta gáis speisialta, agus is iondúil go mbíonn íonacht na ngás speisialta leictreonach níos mó ná 6n.

Triomacht

Is iondúil go gcuirtear ábhar an rianaithe uisce sa ghás, nó sa fhliuch, in iúl i bpointe drúchta, mar phointe drúchta atmaisféarach -70 ℃.

Glaineacht

Léirítear líon na gcáithníní truailleán sa ghás, cáithníní le méid cáithníní de µm, cé mhéad cáithnín/m3. Maidir le haer comhbhrúite, is iondúil go gcuirtear in iúl é i Mg/M3 d'iarmhair sholadacha dosheachanta, lena n -áirítear ábhar ola.