I bpróiseas monaraíochta teilgcheártaí sliseán leathsheoltóra a bhfuil próisis táirgthe sách forbartha acu, bíonn gá le beagnach 50 cineál gáis éagsúla. De ghnáth, roinntear gáis ina ngáis mhórchóir agusgáis speisialta.

Feidhmiú gás i dtionscail na micrileictreonaice agus na leathsheoltóra Bhí ról tábhachtach i gcónaí ag úsáid gás i bpróisis leathsheoltóra, go háirithe úsáidtear próisis leathsheoltóra go forleathan i dtionscail éagsúla. Ó ULSI, TFT-LCD go dtí an tionscal micrileictrimheicniúil (MEMS) reatha, úsáidtear próisis leathsheoltóra mar phróisis monaraíochta táirgí, lena n-áirítear eitseáil thirim, ocsaídiú, ionchlannú ian, taisceadh scannán tanaí, etc.

Mar shampla, tá a fhios ag go leor daoine go bhfuil sceallóga déanta as gaineamh, ach ag féachaint ar an bpróiseas iomlán déantúsaíochta sceallóga, tá gás níos mó ábhar ag teastáil, amhail fótafhriotaíocht, leacht snasta, ábhar sprice, gás speisialta, srl. atá riachtanach. Éilíonn pacáistiú cúil foshraitheanna, idirghabhálaithe, frámaí luaidhe, ábhair nasctha, srl. d'ábhair éagsúla freisin. Is iad gáis speisialta leictreonacha an dara hábhar is mó i gcostais déantúsaíochta leathsheoltóra i ndiaidh sceallóga sileacain, agus ina dhiaidh sin maisc agus fótafhriotaíochtaí.

Bíonn tionchar cinntitheach ag íonacht an gháis ar fheidhmíocht na gcomhpháirteanna agus ar thoradh an táirge, agus tá sábháilteacht an tsoláthair gáis bainteach le sláinte na foirne agus sábháilteacht oibriú na monarchan. Cén fáth a mbíonn tionchar chomh mór sin ag íonacht an gháis ar an líne phróisis agus ar an bhfoireann? Ní áibhéil é seo, ach is iad tréithe contúirteacha an gháis féin a chinneann é.

Aicmiú gás coitianta sa tionscal leathsheoltóra

Gnáthghás

Tugtar gás mórchóir ar ghnáthghás freisin: tagraíonn sé do ghás tionsclaíoch a bhfuil riachtanas íonachta níos ísle ná 5N aige agus méid mór táirgthe agus díolacháin. Is féidir é a roinnt ina ghás scaradh aeir agus ina ghás sintéiseach de réir modhanna ullmhúcháin éagsúla. Hidrigin (H2), nítrigin (N2), ocsaigin (O2), argón (A2), etc.;

Gás Speisialtachta

Tagraíonn gás speisialtachta do ghás tionsclaíoch a úsáidtear i réimsí sonracha agus a bhfuil ceanglais speisialta aige maidir le híonacht, éagsúlacht agus airíonna.SiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… agus mar sin de.

Cineálacha gás spíosrach

Cineálacha gás speisialta: creimneach, tocsaineach, inadhainte, dócháin-tacaíochta, támh, etc.
Aicmítear gáis leathsheoltóra a úsáidtear go coitianta mar seo a leanas:
(i) Creimneach/tocsaineach:HClBF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2BCl3…
(ii) Inadhainte: H2,CH4、SiH4, PH3 、 Ash3 , SiH2Cl2 , B2H6 , CH2F2 , CH3F , CO…
(iii) Indóite: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Támh: N2,CF4C2F6C4F8、SF6CO2Ne、KrSé…

I bpróiseas monaraíochta sceallóga leathsheoltóra, úsáidtear thart ar 50 cineál éagsúil gás speisialta (dá ngairtear gáis speisialta) in ocsaídiú, idirleathadh, taisceadh, greanadh, instealladh, fótailitagrafaíocht agus próisis eile, agus tá na céimeanna próiseála iomlána níos mó ná na céadta. Mar shampla, úsáidtear PH3 agus AsH3 mar fhoinsí fosfair agus arsanaic sa phróiseas ionchlannú ian, úsáidtear gáis F-bhunaithe CF4, CHF3, SF6 agus gáis halaigine CI2, BCI3, HBr go coitianta sa phróiseas greanadh, SiH4, NH3, N2O sa phróiseas scannáin taiscthe, F2/Kr/Ne, Kr/Ne sa phróiseas fótailitagrafaíochta.

Ó na gnéithe thuas, is féidir linn a thuiscint go bhfuil go leor gás leathsheoltóra díobhálach don chorp daonna. Go háirithe, tá cuid de na gáis, amhail SiH4, féinadhainte. Chomh fada agus a sceitheann siad, imoibríonn siad go foréigneach le hocsaigin san aer agus tosóidh siad ag dó; agus tá AsH3 an-tocsaineach. Féadfaidh aon sceitheadh ​​beag dochar a dhéanamh do shaol daoine, mar sin tá na ceanglais maidir le sábháilteacht dhearadh an chórais rialaithe le haghaidh úsáid gás speisialta thar a bheith ard.

Éilíonn leathsheoltóirí go mbeadh “trí chéim” ag gáis ard-íonachta

Íonacht gháis

De ghnáth, léirítear cion an atmaisféir neamhíonachta sa ghás mar chéatadán d'íonacht an gháis, amhail 99.9999%. Go ginearálta, sroicheann an riachtanas íonachta do gháis speisialta leictreonacha 5N-6N, agus léirítear é freisin trí chóimheas toirte cion an atmaisféir neamhíonachta ppm (cuid in aghaidh an mhilliúin), ppb (cuid in aghaidh an bhilliún), agus ppt (cuid in aghaidh an trilliún). Tá na ceanglais is airde maidir le híonacht agus cobhsaíocht cáilíochta gás speisialta ag réimse na leathsheoltóirí leictreonacha, agus is gnách go mbíonn íonacht na ngás speisialta leictreonacha níos mó ná 6N.

Triomacht

De ghnáth, léirítear cion an rianuisce sa ghás, nó an taise, i bpointe drúchta, amhail pointe drúchta atmaisféarach -70 ℃.

Glantacht

Léirítear líon na gcáithníní truailleáin sa ghás, cáithníní a bhfuil méid cáithníní µm iontu, i líon na gcáithníní/M3. I gcás aer comhbhrúite, léirítear é de ghnáth i mg/m3 d’iarmhair sholadacha dosheachanta, lena n-áirítear cion ola.