I bpróiseas déantúsaíochta na dteilgcheártaí leathsheoltóra sliseog le próisis táirgthe réasúnta chun cinn, tá gá le beagnach 50 cineál gáis éagsúla. Tá gáis roinnte go ginearálta i gás mórchóir agusgáis speisialta.

Cur i bhfeidhm gáis i dtionscail mhicrileictreonaic agus leathsheoltóra Bhí ról tábhachtach ag úsáid gáis i gcónaí i bpróisis leathsheoltóra, go háirithe úsáidtear próisis leathsheoltóra go forleathan i dtionscail éagsúla. Ó ULSI, TFT-LCD go dtí an tionscal micrea-leictrimheicniúla (MEMS) atá ann faoi láthair, úsáidtear próisis leathsheoltóra mar phróisis déantúsaíochta táirgí, lena n-áirítear eitseáil tirim, ocsaídiú, ionchlannú ian, taisceadh scannán tanaí, etc.

Mar shampla, tá a fhios ag go leor daoine go bhfuil sliseanna déanta as gaineamh, ach ag féachaint ar an bpróiseas iomlán déantúsaíochta sliseanna, tá gá le níos mó ábhar, mar shampla photoresist, leacht snasta, sprioc-ábhar, gás speisialta, etc. Teastaíonn foshraitheanna, idirposers, frámaí luaidhe, ábhair nasctha, etc. d'ábhair éagsúla le pacáistiú cúl-deireadh freisin. Is iad gáis speisialta leictreonacha an dara ábhar is mó i gcostais déantúsaíochta leathsheoltóra tar éis sliseog sileacain, agus maisc agus fótaisintéis ina dhiaidh sin.

Tá tionchar cinntitheach ag íonacht an gháis ar fheidhmíocht na gcomhpháirteanna agus ar thorthaí an táirge, agus baineann sábháilteacht an tsoláthair gáis le sláinte an phearsanra agus le sábháilteacht oibriú na monarcha. Cén fáth a bhfuil tionchar chomh mór ag íonacht an gháis ar líne an phróisis agus ar an bpearsanra? Ní áibhéil é seo, ach déantar é a chinneadh ag tréithe contúirteacha an gháis féin.

Aicmiú gás coitianta sa tionscal leathsheoltóra

Gnáthghás

Tugtar gás mórchóir ar ghnáthghás freisin: tagraíonn sé don ghás tionsclaíoch le ceanglas íonachta níos ísle ná 5N agus méid mór táirgeachta agus díolacháin. Is féidir é a roinnt ina ghás scaradh aeir agus gás sintéiseach de réir modhanna éagsúla ullmhúcháin. Hidrigin (H2), nítrigin (N2), ocsaigin (O2), argón (A2), etc.;

Gás Speisialtacht

Tagraíonn gás speisialtachta don ghás tionsclaíoch a úsáidtear i réimsí sonracha agus tá ceanglais speisialta aige maidir le híonacht, éagsúlacht agus airíonna. Go príomhaSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… agus mar sin de.

Cineálacha gáis spíosúla

Cineálacha gás speisialta: creimneach, tocsaineach, inadhainte, dócháin-tacaíochta, támh, etc.
Aicmítear gáis leathsheoltóra a úsáidtear go coitianta mar seo a leanas:
(i) Creimneach/tocsaineach:HCl, BF3 , WF6 , HBr , SiH2Cl2 , NH3 , PH3 , Cl2 ,BCl3…
(ii) Inadhainte: H2,CH4、SiH4, PH3 、 Ash3 , SiH2Cl2 , B2H6 , CH2F2 , CH3F , CO…
(iii) Indóite: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Támh: N2,CF4C2F6,C4F8、SF6、 CO2、Ne、Kr、 sé…

Sa phróiseas déantúsaíochta sliseanna leathsheoltóra, úsáidtear thart ar 50 cineál éagsúla gáis speisialta (dá ngairtear gáis speisialta) i ocsaídiú, idirleathadh, sil-leagan, eitseáil, instealladh, photolithography agus próisis eile, agus tá céimeanna iomlána an phróisis níos mó ná na céadta. Mar shampla, úsáidtear PH3 agus AsH3 mar fhoinsí fosfar agus arsanaic sa phróiseas ionchlannú ian, úsáidtear gáis F-bhunaithe CF4, CHF3, SF6 agus gáis halaigine CI2, BCI3, HBr go coitianta sa phróiseas eitseála, SiH4, NH3, N2O in. próiseas an scannáin sil-leagan, F2/Kr/Ne, Kr/Ne sa phróiseas fótaliteagrafaíocht.

Ó na gnéithe thuas, is féidir linn a thuiscint go bhfuil go leor gáis leathsheoltóra díobhálach don chorp daonna. Go háirithe, tá cuid de na gáis, mar SiH4, féin-adhaint. Chomh fada agus a sceitheann siad, imoibríonn siad go foréigneach le hocsaigin san aer agus tosóidh siad ag dó; agus tá AsH3 an-tocsaineach. Féadfaidh aon sceitheadh ​​beag dochar a dhéanamh do shaol na ndaoine, agus mar sin tá na ceanglais maidir le sábháilteacht dearadh an chórais rialaithe maidir le húsáid gáis speisialta go háirithe ard.

Éilíonn leathsheoltóirí go mbeadh “trí chéim” ag gáis ardíonachta

íonacht gáis

De ghnáth cuirtear ábhar an atmaisféar eisíontais sa ghás in iúl mar chéatadán d'íonacht an gháis, mar shampla 99.9999%. Go ginearálta, sroicheann an ceanglas íonachta do gháis speisialta leictreonacha 5N-6N, agus tá sé sainráite freisin ag an gcóimheas toirte d'ábhar atmaisféar neamhíonachta ppm (cuid in aghaidh an mhilliúin), ppb (cuid in aghaidh an bhilliún), agus ppt (cuid in aghaidh an trilliún). Tá na ceanglais is airde ag an réimse leathsheoltóra leictreonach maidir le cobhsaíocht íonachta agus cáilíochta na ngás speisialta, agus tá íonacht na ngás speisialta leictreonacha níos mó ná 6N i gcoitinne.

Triomacht

Is iondúil go gcuirtear an t-ábhar rianuisce sa ghás, nó an fhliuchtacht, in iúl i bpointe drúcht, mar shampla drúcht an atmaisféir -70 ℃.

Glaineacht

Sloinntear líon na gcáithníní truailleán sa ghás, cáithníní a bhfuil méid na gcáithníní acu de µm, i gcé mhéad cáithníní/M3. Maidir le haer comhbhrúite, cuirtear in iúl é de ghnáth i mg/m3 d’iarmhair soladacha dosheachanta, lena n-áirítear ábhar ola.