Úsáidí tungstain hexafluoride (WF6)

Taisctear Hexafluoride Tungstain (WF6) ar dhromchla an tsleasa trí phróiseas CVD, ag líonadh na dtrinsí idirnasctha miotail, agus ag cruthú an idirnasc miotail idir sraitheanna.

Labhraimís faoi plasma ar dtús. Is cineál ábhair é plasma atá comhdhéanta den chuid is mó de leictreoin saor in aisce agus ian luchtaithe. Tá sé go forleathan sna cruinne agus is minic a mheastar gurb é an ceathrú staid ábhair é. Tugtar an Stát Plasma air, ar a dtugtar “plasma” freisin. Tá seoltacht leictreach ard ag plasma agus tá éifeacht láidir cúplála aige le réimse leictreamaighnéadach. Is gás atá ianaithe go páirteach é, atá comhdhéanta de leictreoin, ian, fréamhacha saor in aisce, cáithníní neodracha, agus fótóin. Is meascán neodrach go leictreach é an plasma féin ina bhfuil cáithníní atá gníomhach go fisiciúil agus go ceimiceach.

Is é an míniú simplí ná go sáróidh an móilín an fórsa van der Waals, fórsa bannaí ceimiceacha agus fórsa Coulomb, faoi ghníomh ardfhuinnimh, agus go gcuirfidh sé foirm leictreachais neodrach ina iomláine i láthair. Ag an am céanna, sáraíonn an fuinneamh ard a thugann an taobh amuigh na trí fhórsa thuas. Cuireann feidhm, leictreoin agus ian saor -stát i láthair, ar féidir é a úsáid go saorga faoi mhodhnú réimse maighnéadach, amhail próiseas eitseáil leathsheoltóra, próiseas CVD, PVD agus próiseas IMP.

Cad is fuinneamh ard ann? Go teoiriciúil, is féidir úsáid a bhaint as RF ardteochta agus ardmhinicíochta araon. Go ginearálta, tá sé beagnach dodhéanta an teocht ard a bhaint amach. Tá an riachtanas teochta seo ró -ard agus d'fhéadfadh sé a bheith gar do theocht na gréine. Tá sé dodhéanta go bunúsach a bhaint amach sa phróiseas. Dá bhrí sin, is iondúil go n-úsáideann an tionscal RF ardmhinicíochta chun é a bhaint amach. Is féidir le Plasma RF teacht chomh hard le 13MHz+.

Déantar tungstain hexafluoride a phléascadh faoi ghníomh réimse leictreach, agus ansin tá réimse maighnéadach á úsáid ag gal. Tá adaimh cosúil le cleití gé geimhridh agus titeann siad ar an talamh faoi ghníomhú domhantarraingthe. Go mall, cuirtear adaimh W isteach sna poill trí, agus ar deireadh líontar iad trí phoill chun idirnaisc miotail a dhéanamh. Chomh maith le hadaimh W a thaisceadh sna poill trí phoill, an dtaiscfear iad freisin ar dhromchla an tsliocht? Sea, cinnte. Go ginearálta, is féidir leat an próiseas W-CMP a úsáid, rud a ghlaoimid ar an bpróiseas meilte meicniúil a bhaint. Tá sé cosúil le broom a úsáid chun an t -urlár a scuabadh tar éis sneachta trom. Déantar an sneachta ar an talamh a scuabadh ar shiúl, ach fanfaidh an sneachta sa pholl ar an talamh. Síos, thart ar an gcéanna.