Úsáidí heicseafluairíd tungstain (WF6)

Déantar heicseafluairíd tungstain (WF6) a thaisceadh ar dhromchla an sliseog trí phróiseas CVD, ag líonadh na dtrinsí idirnasctha miotail, agus ag cruthú an idirnasctha miotail idir na sraitheanna.

Labhraimís faoi plasma ar dtús.Is cineál ábhair é plasma atá comhdhéanta go príomha de leictreoin saor agus iain luchtaithe.Tá sé ann go forleathan sa chruinne agus is minic a mheastar é mar an ceathrú staid ábhair.Tugtar an stát plasma air, ar a dtugtar “Plasma” freisin.Tá seoltacht leictreach ard ag plasma agus tá éifeacht chúplála láidir aige le réimse leictreamaighnéadach.Is gás ianaithe go páirteach é, comhdhéanta de leictreoin, iain, saorfhréamhacha, cáithníní neodracha, agus fótóin.Is meascán neodrach leictreach é an plasma féin ina bhfuil cáithníní atá gníomhach go fisiceach agus go ceimiceach.

Is é an míniú díreach atá air, faoi ghníomhaíocht ardfhuinnimh, go sáróidh an móilín fórsa van der Waals, fórsa bannaí ceimiceacha agus fórsa Coulomb, agus go gcuirfidh sé cineál leictreachais neodraigh ina iomláine.Ag an am céanna, sáraíonn an fuinneamh ard a thugann an taobh amuigh na trí fhórsa thuas.Cuireann feidhm, leictreoin agus iain saor-stát i láthair, ar féidir iad a úsáid go saorga faoi mhodhnú réimse maighnéadach, mar shampla próiseas eitseála leathsheoltóra, próiseas CVD, próiseas PVD agus IMP.

Cad é ardfhuinnimh?Go teoiriciúil, is féidir RF ardteochta agus ardmhinicíochta a úsáid.Go ginearálta, tá sé beagnach dodhéanta teocht ard a bhaint amach.Tá an riachtanas teochta seo ró-ard agus d’fhéadfadh sé a bheith gar do theocht na gréine.Go bunúsach tá sé dodhéanta a bhaint amach sa phróiseas.Dá bhrí sin, is gnách go n-úsáideann an tionscal RF ardmhinicíochta chun é a bhaint amach.Is féidir le Plasma RF teacht chomh hard le 13MHz +.

Déantar heicseafluairíd tungstain a phlasmaiú faoi ghníomhaíocht réimse leictreach, agus ansin taisceann gal le réimse maighnéadach.Tá adaimh W cosúil le cleití gé gheimhridh agus titeann siad go talamh faoi ghníomhaíocht domhantarraingthe.Go mall, taisctear adaimh W isteach sna trí phoill, agus líontar iad go hiomlán trí phoill chun idirnaisc miotail a fhoirmiú.Chomh maith le hadaimh W a thaisceadh sna trí phoill, an ndéanfar iad a thaisceadh ar dhromchla an Wafer?Sea, cinnte.Go ginearálta, is féidir leat an próiseas W-CMP a úsáid, agus sin an rud a thugaimid don phróiseas meilt meicniúil a bhaint.Tá sé cosúil le broom a úsáid chun an t-urlár a scuabadh tar éis sneachta trom.Scriostar an sneachta ar an talamh, ach fanfaidh an sneachta sa pholl ar an talamh.Síos, go garbh mar an gcéanna.


Am poist: Nollaig-24-2021

Seol do theachtaireacht chugainn: